Cos'è la fotolitografia?
La fotolitografia è uno dei processi importanti nella produzione di circuiti integrati (IC o chip). In parole povere, è il processo di copia di uno schema circuitale su un substrato utilizzando la fotomaschera e il fotoresist.
Il substrato sarà verniciato su uno strato isolante di biossido di silicio e fotoresist. Il fotoresist può essere sciolto facilmente con uno sviluppatore dopo essere stato esposto alla luce UV, dopo il dissolvitore e l'attacco, il modello del circuito verrà lasciato sul substrato.
Cos'è il fotoresist? Perché la lunghezza d'onda UV di 500 nm deve essere bloccata?
Il fotoresist è combinato con resine, solventi e additivi. La gamma di sensibilità alla luce del fotoresist è di 200 nm-500nm. Pertanto, molti laboratori di semiconduttori adotteranno la luce gialla che blocca la lunghezza d'onda UV di 500 nm per prevenire situazioni di fotoresist sovraesposte o esposte prematuramente.
